[9a-S421-1~12] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [9a-S421-11] 溶液プロセスによるバイオセンサ用Active Matrix酸化物TFTアレイの作製

〇栗谷川 翔¹、Phan Tue¹、下田 達也¹、高村 禅¹ (1.北陸先端大)

キーワード：酸化物TFTアレイ、溶液プロセス、バイオセンサ

多項目測定や、位置依存性、濃度イメージングの目的で、バイオセンサをアレイ化する研究が様々な手法で行われている。しかし，大面積への応用にはコストが高い欠点がある。機能性インクや印刷技術を用いて半導体などの材料をパターニングする溶液プロセスは、比較的大面積・安価に能動デバイスを作製することができる。今回は溶液プロセスにより、バイオセンサ用酸化物TFTアクティブマトリックスアレイの作製を試みたので報告する。