[9a-W323-1~12] 6.4 薄膜新材料

[9a-W323-7] 形状の異なる 2 種類の EDTA 錯体を原料とした金属酸化物膜の合成

〇菊池 泰斗¹、中村 淳^2,1、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大、2.中部キレスト)

キーワード：EDTA錯体、金属酸化物膜