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[9a-W611-1] 3 次元PL イメージング法で同定したハイパフォーマンス多結晶シリコンインゴット中の転位発生点近傍の透過電子顕微鏡解析
キーワード:シリコン太陽電池
粒界から発生する転位クラスターは、多結晶シリコン太陽電池のライフタイム劣化の主要な要因である。転位の発生は粒界の種類に依存するが、その発生過程・発生機構は未解明である。最近、ある種の粒界3重点が転位クラスターの発生源である可能性が示された。本研究では、該当する3重点近傍を薄膜化し、透過電子顕微鏡、μPLマッピングおよびエッチピット観察を用いて転位発生源の特徴的な微視的構造と構造パラメータを探索した。