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[9a-W611-2] Relationship between size and propagation direction of dislocation clusters in multicrystalline silicon ingot
Keywords:multicrystalline silicon, dislocation
多結晶シリコンは太陽電池の出発材料として広く用いられているが、多結晶シリコンには粒界や転位などの結晶欠陥が多く存在し、それらが太陽電池特性を下げる要因となっている。本研究では画像処理された多結晶シリコンウェーハのフォトルミネッセンス画像から再構成された転位クラスターの三次元構造を解析することにより、転位クラスターのサイズと伝搬方向に相関があることを発見したのでそれを報告する。