[9a-W611-1~8] 16.3 シリコン系太陽電池

[9a-W611-3] 擬単結晶シリコンにおけるΣ3結晶粒の発達と転位クラスターの生成の関係

〇小島 拓人¹、田島 和哉²、松本 哲也¹、工藤 博章¹、宇佐美 徳隆² (1.名大院情報、2.名大院工)

キーワード：多結晶シリコン、結晶粒界、転位クラスター

バルク成長多結晶シリコン中に導入される転位クラスターは成長方向に伝搬し，インゴット上部では広範囲に広がる．本研究では多結晶シリコンの結晶成長中に非常に低エネルギーで導入されるΣ3粒界の発達と転位クラスター発生の関係を調べた．試料としてシード単結晶によって方向にキャスト成長した擬単結晶シリコンインゴットを用いた．擬単結晶シリコンではるつぼ壁で発生した異なる{111}双晶面を持つΣ3粒界の相互作用が観察された．Σ3粒界の相互作用による複雑な多結晶化は，異なる双晶面によるΣ3粒界が3つ以上衝突した領域で観察された．