[9a-W631-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[9a-W631-3] GaAs基板に形成するLIPSS周期のレーザースキャン速度依存性

〇(B)松浦 英徳¹、宮川 鈴衣奈¹、江龍 修¹ (1.名工大)

キーワード：フェムト秒レーザー、ナノ周期構造

フェムト秒レーザー誘起周期構造（LIPSS）の機能的応用を目的とし、LIPSSの結晶状態や周期の制御に取り組んでいる。これまでの研究で、GaAs基板は照射領域内に3つの異なる周期のLIPSSが形成されることがわかった。この現象を理解するため、レーザーのパワー、スキャン速度を変化させてその効果を調査した。