[9p-M113-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[9p-M113-1] 中性子反射率法による窒素含有DLC薄膜の構造評価

〇多積 直之¹、大越 康晴¹、宮田 登²、宮崎 司²、矢口 俊之¹、本間 彰彦¹ (1.東京電機大学、2.CROSS 中性子科学センター)

キーワード：中性子反射率法、DLC