[9p-M113-1~8] 6.2 Carbon-based thin films

[9p-M113-2] Chemical bonding structures of amorphous carbon nitride thin films using synchrotron radiation infrared spectroscopy and soft X-ray emission spectroscopy

〇Masami Aono¹, Hiroaki Kishimura², Shingo Ishii³, Yohei Sato³, Masami Terauchi³ (1.Kagoshima Univ., 2.NDA, 3.IMRAM Tohoku Univ.)

Keywords:amorphous carbon nitride, thin film, spectroscopy

光誘起変形を生ずるアモルファス窒化炭素薄膜の化学結合状態は、均一ではないことが分かってきた。本研究では、高輝度フーリエ変換赤外分光法および軟X線発光分光のマッピング測定結果を比較し、化学結合状態の不均一性について調べた。また、光照射下における一時的な化学結合を調べるため、可視光照射下で同様の実験を行った。