[9p-M113-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[9p-M113-3] 結晶性の異なる窒化炭素薄膜の合成とその電子物性

〇羽渕 仁恵¹、小林 涼介¹、青山 宏明¹、安田 和史¹ (1.岐阜高専)

キーワード：窒化炭素薄膜、結晶性、光電流

結晶性の異なる窒化炭素薄膜をメラミン等の熱分解した気相成長法にて合成した。結晶性はX線回折の(002)面の強度より評価した。結晶性は原料がグアニジン炭酸塩で減圧下で合成した試料が最も悪い。最も良い原料がメラミンで大気圧で合成した試料であった。