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[9p-M113-7] プラズマCVDで合成されるa-C:H膜の構造に及ぼす高密度プラズマ化の影響
キーワード：DLC膜、a-C:H膜
DCプラズマにマイクロ波を吸収させた高密度プラズマにより超高速DLC成膜が可能となるが，高密度プラズマ化がDLC膜の構造に及ぼす影響は未解明である．本研究ではプラズマCVDを用いて，プラズマ密度が大きく異なる条件下で作成したDLC膜の比較を目的として，それらのラマン分光やナノインデンター計測を行った．その結果，高密度プラズマ化により成膜レートと膜硬度が上昇し，膜中水素量が減少した．