[9p-M114-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[9p-M114-5] 高調波∂C/∂z-SNDM信号を用いた半導体キャリア分布観察

〇平永 良臣¹、長 康雄¹ (1.東北大通研)

キーワード：プローブ顕微鏡、半導体、キャリア分布