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[9p-M116-11] Fabrication of phase holographic gratings by laser interference processing and generation of electron vortex beams
Keywords:Electron vortex, Holographic diffraction grating, Laser interference processing
近年、電子顕微鏡法の分野で電子渦ビームの発生とその利用が注目されており、ホログラフィック回折格子に電子線を入射し、回折波として取り出す方法が簡便かつ実用的である。本研究では、その回折格子を作製する手法としてレーザー干渉加工を用いた新しい手法を試みている。フェムト秒レーザーを使用したアブレーション加工により、回折効率の高い位相ホログラフィック回折格子をシングルショットで作製することが可能である。