[9p-PA1-1~28] 6.4 薄膜新材料

[9p-PA1-11] 複合成膜による低屈折率光学薄膜の作製の検討

〇速水 舞¹、都野 義樹¹、室谷 裕志¹、松本 繁治² (1.東海大院工、2.㈱シンクロン)

キーワード：光学薄膜、低屈折率、MgF2