[9p-PA1-1~28] 6.4 薄膜新材料

[9p-PA1-17] パルスレーザー堆積法による BaF₂薄膜を用いた真空紫外光センサの開発

〇加藤 誠也¹、鈴木 健太郎¹、大谷 潤¹、加瀬 征彦²、小野 晋吾¹ (1.名工大、2.ウシオ電機)

キーワード：紫外光センサ、光伝導、パルスレーザー堆積法

近年の真空紫外光源の高出力化に伴い、長時間安定にモニタリングするためのセンサの開発が求められている。我々はこれまでに真空紫外光照射に対して高い耐久性がありワイドバンドギャップ材料であるフッ化物を用いて光伝導型の真空紫外光センサの開発を行ってきた。本発表では、パルスレーザー堆積法によって作製したBaF₂薄膜に櫛形電極を蒸着しセンサ性能の評価を行ったのでこれを報告する。