[9p-PA1-1~28] 6.4 Thin films and New materials

[9p-PA1-2] EBSD evaluation of (001) oriented Co_xFe_3-xO₄ thin film prepared on glass and Si substrate.

〇Keita Yasuda¹, Masami Nishiyama¹, Takayuki Ishibashi¹ (1.Nagaoka Univ. of Tech.)

Keywords:cobalt ferrite, (001) oriented film, electron back scattered diffraction pattern method

近年、MgO基板上に作製された(001)コバルトフェライト薄膜は、高い垂直磁気異方性を示すことが報告され注目されている。前回、我々は、有機金属分解(MOD)法によりガラスおよびSi基板上にCo_xFe_3-xO₄薄膜が特定の仮焼成条件で 001配向することを報告した。今回は、作製したCo_xFe_3-xO₄薄膜をEBSDにより評価した結果について報告する。