[9p-PA1-1~28] 6.4 Thin films and New materials

[9p-PA1-21] Structural analysis on AlBN hard coating films deposited by reactive CAPD

〇Tomohiro Yoshida¹, Yuki Tanaka², Koki Murasawa³, Masaki Kudo⁴, Takaaki Toriyama⁴, Seiya Uchida², Yasuo Fukui³, Masatoshi Sakurai³, Tsuyoshi Yoshitake² (1.Fukuoka Ind. Tech. Center, 2.Kyushu Univ., 3.OSG Corp., 4.URC, Kyushu Univ.)

Keywords:AlBN, nano crystal, nanocomposite

新規硬質被膜材料として反応性同軸型アークプラズマ堆積法（Reactive CAPD)によりAlBN薄膜を鉄系母材の高速度鋼上に成膜した．TEMによるナノ構造解析から，AlBN薄膜は5 nm程度のナノ微結晶とアモルファス層から構成されるナノコンポジット構造を有しており，シンクロトロン光を用いたN 1sのPESスペクトルでは，ナノ構造かBに起因するとみられる2つの特徴的なピークが観察された．膜硬度とナノ構造，化学結合状態の相関について報告を行う．