[9p-PA2-1~29] 12.4 有機EL・トランジスタ

[9p-PA2-11] 有機薄膜トランジスタのゲート絶縁膜に対するプラズマ窒化処理の影響の調査

〇松下 晟士¹、水口 慶一郎¹、堀 加太斗¹、岩崎 好孝¹、上野 智雄¹ (1.東京農工大学)

キーワード：有機薄膜トランジスタ、プラズマ処理、窒化処理