[9p-PA3-1~18] 6.2 Carbon-based thin films

[9p-PA3-10] Dislocation analysis using XRT and their effect to the device characteristics

〇Naoya Akashi¹, Nanako Fujimaki¹, Shinichi Shikata¹ (1.Kwansei Gakuin Univ.)

Keywords:diamond

ダイヤモンドは優れた物性から、縦型構造を用いた高耐圧・高出力パワーデバイスへの応用が期待されている。本発表では、p+HPHT基板をX線トポグラフィ(XRT)で観察後、縦型SBDを作成し転位がデバイス特性に与える影響を調査したので、報告する。