[9p-PA3-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[9p-PA3-16] ScAlN/多結晶ダイヤモンドSAW共振子の作製・評価

〇小林 勇介¹、麻尾 裕己²、橋本 研也²、鹿田 真一¹ (1.関学大理工、2.千葉大工)

キーワード：SAWデバイス、ダイヤモンド

高K2材料のScAlN圧電薄膜を用いた研究が単結晶ダイヤで実施され、優れた特性が確認されている。本研究では実用を勘定し、多結晶ダイヤ基板を用いて試作、評価を行った。