[9p-PA3-1~18] 6.2 Carbon-based thin films

[9p-PA3-16] Evaluation of ScAlN/PCD high frequency SAW resonator

〇Yusuke Kobayashi¹, Yuki Asao², Kenya Hashimoto², Shinichi Shikata¹ (1.Kwansei Gakuin Univ., 2.Chiva Univ.)

Keywords:SAW device, diamond

高K2材料のScAlN圧電薄膜を用いた研究が単結晶ダイヤで実施され、優れた特性が確認されている。本研究では実用を勘定し、多結晶ダイヤ基板を用いて試作、評価を行った。