[9p-PA3-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[9p-PA3-2] アモルファス炭素膜の熱分解挙動と構造変化の均一性

〇赤坂 大樹¹、Sarayut Tunmee²、Chanan Euaruksakun²、Ukit Rittihong²、Ratchadaporn Supruangnet²、平田 祐樹¹、大竹 尚登¹ (1.東工大、2.SLRI)

キーワード：アモルファス炭素膜、sp2/sp3比、熱分解

超真空中で加熱し，膜から熱分解により放出されるガス質量を検出すると共に膜中のsp²/ sp³分布の局所的変化を放射光用いたX線光電子顕微鏡(X-PEEM)で観測した