[9p-PA4-1~30] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[9p-PA4-5] λ相Ti₃O₅エピタキシャル薄膜におけるシード層からのMg拡散の効果

〇陳 昊¹、廣瀬 靖¹、長谷川 哲也¹ (1.東大院理)

キーワード：チタン酸化物、Mg拡散、相安定性

λ-Ti₃O₅は熱や光、圧力などの外場により構造相転移し、電気伝導性や光学特性が変化することから、記録材料や蓄熱材料として注目されている。 我々は擬ブルッカイト構造のMgTi₂O₅をシード層とすることで、λ-Ti₃O₅のエピタキ シャル成長に成功し、前回の講演会で報告した。本発表では、Ti₃O₅粉末にMgをドー プすると、室温最安定相がβ→λ→α相へと変化するという最近の報告に注目し、 シード層からのMg拡散が、Ti₃O₅薄膜の相安定性に影響を与える可能性を検討した。