[9p-PB2-1~12] 3.7 Laser processing

[9p-PB2-5] Microfabrication of diffraction grating made of UV transparent polymer using high-repetition femtosecond laser

〇Ryo Ozaki¹, Yasutaka Hanada¹ (1.Hirosaki Univ.)

Keywords:UV transparent polymer, femtosecond laser, diffraction grating

紫外透過性ポリマー(CYTOP)に高繰り返しフェムト秒レーザーを集光照射することにより、高品質な加工溝作製を試みた。高繰り返しフェムト秒レーザーを用いて作製した加工溝を観察すると、クラックなどは確認されない。そして、応用例として回折格子の作製を試みた。加工溝を一定の間隔で形成したCYTOP基板に、He-Neレーザーを照射し、透過したレーザー光が回折することを確認した。