[9p-PB2-1~12] 3.7 Laser processing

[9p-PB2-7] TEM observation of ultrafast laser-induced periodic surface structures on yttria-stabilized zirconia

〇Masayuki Kakehata¹, Hidehiko Yashiro¹, Ayako Oyane², Atsuo Ito³, Kenji Torizuka¹ (1.ESPRIT, AIST, 2.NMRI, AIST, 3.HRI, AIST)

Keywords:femtosecond laser, zirconia ceramics, periodic surface structure

これまで、イットリア安定化正方晶ジルコニア多結晶体へのフェムト秒レーザー照射によるレーザー誘起周期的表面構造形成を調べてきた。今回、形成過程の情報取得を目的とし、透過電子顕微鏡による断面形状や結晶粒の状態等の分析を行ったので報告する。