[9p-PB4-1~11] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[9p-PB4-10] 印刷技術によるNi-Cr系抵抗体の作製とヒータ特性の測定

〇的場 彰成¹、奥谷 潤¹、筒口 善央¹、上田 芳弘¹、米澤 保人¹ (1.石川県工試)

キーワード：抵抗体、印刷技術、ニッケル-クロム

印刷技術による電子部品の作製に向けて、Ni-Cr系材料から抵抗体ペーストを作製し、印刷、焼成することでセラミック基板上に抵抗体を形成した。形成した抵抗体は焼成温度600℃以上でNi-Cr系合金の結晶相を示した。さらに、この抵抗体に通電することで230℃以上の加熱が可能であり、ヒータとしての機能を有することを見出した。