[9p-S011-1~13] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[9p-S011-4] n-Sn-Zn-Oの水素化とポストアニールによるTFT信頼性の向上

〇柳澤 利樹¹、染谷 優太¹、清水 耕作¹ (1.日本大学　生産工)

キーワード：酸化物半導体、水素化