[9p-S223-1~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[9p-S223-1] マスクレス内面リソグラフィ用大パターン露光光学系の検討

〇堀内 敏行¹、秋谷 甲輔¹、今橋 和巳¹、鈴木 佑汰¹、岩崎 順哉¹、柳田 明¹、小林 宏史¹ (1.東京電機大)

キーワード：内面露光、光ファイバアレイ、テーパコンデュィット

内径10mm、長さ300mmの管内面に線幅300µm程度のパターンを形成する露光光学系を検討した。先端を500µm角に成形したプラスチック光ファイバを並べたアレイをテーパコンデュイットに接して配置して1/2.25に縮小した。さらに、出口端の前方に凸レンズと45°ミラーを置いてパターン像を管内面に作る構成とした。光ファイバ1本を用い、管位置に置いたウエハ上に線幅約300µmのパターンを形成できた。