[9p-S223-1~12] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

△ [9p-S223-5] Direct Metal Nano-Patterning by Electron Beam Irradiation

〇(M2)Keita Mizuno¹, Hiroko Kominami¹, Atsushi Ono¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:electron beam lithography, direct patterning, metal nano-structure

本研究目的は，電子線照射還元法による直接的な金属ナノパターニング技術の開発である．我々は，金属イオンを混合したポリマーに電子線を照射すると金属が析出する現象を新たに発見し，線幅110nmの銀細線のパターニングに成功した．EDS分析より，銀の特性X線エネルギー由来のピークを検出し，作製構造が銀であることを実証した．本研究により，無蒸着プロセスのワンステップ銀ナノ構造作製技術を確立した．