[9p-S223-1~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[9p-S223-9] ナノインプリントにおけるレジスト収縮の補正(3D形状補正)

渡辺 謙太¹、〇砂川 弘樹¹、山下 龍之介²、安田 雅昭¹、大西 有希²、川田 博昭¹、平井 義彦¹ (1.阪府大院工、2.東工大院工)

キーワード：ナノインプリントリソグラフィ