[9p-W323-1~17] 8.1 Plasma production and diagnostics

△ [9p-W323-9] Spatiotemporal Optical Measurement of Slot-excited Atmospheric-pressure Microwave Plasma

〇(M1)Yoshiki Baba¹, Haruka Suzuki¹, Hirotaka Toyoda¹ (1.Nagoya Univ.)

Keywords:Microwave plasma, Spatial structure

我々はスロット励起大気圧マイクロ波プラズマに着目し、大面積処理が可能となる長尺高密度マイクロ波プラズマを生成する技術を開発した。しかし、大気圧下では減圧下と比べてプラズマが拡散しにくいため、スロット内及びその近傍におけるプラズマの空間構造の把握が重要である。そこで本研究では、この空間構造特性を把握するために新たなスロット型のプラズマ装置を開発し、生成した大気圧プラズマの空間構造を詳細に観測した。