[9p-W371-1~16] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

△ [9p-W371-2] ラマン分光法による酸化膜を被覆したSiナノワイヤ界面近傍の熱伝導特性評価

〇横川 凌^1,2、富田 基裕^1,3、渡邉 孝信³、小椋 厚志¹ (1.明治大理工、2.学振特別研究員DC、3.早大理工)

キーワード：ラマン分光法、Siナノワイヤ

Siナノワイヤは熱伝導率が大幅に低下することが明らかにされ、その要因は酸化膜/Si界面に局在する無秩序な振動状態が関与していることが報告されている。我々はラマンによる熱特性評価を試み酸化膜を被覆したSiナノワイヤを用いて熱伝導がどのように変化するかレーザパワー依存性により詳細に分析した。