[9p-W521-1~16] 17.2 Graphene

[9p-W521-11] Study on degradation mechanism of CVD graphene mobility with lock-in thermography

〇Hideaki Nakajima¹, Yuki Okigawa¹, Takahiro Morimoto¹, Yoshiue Ikuta¹, Takatoshi Yamada¹, Toshiya Okazaki¹ (1.AIST)

Keywords:graphene, lock-in thermography, mobility

CVD法グラフェンは大面積成膜が可能である一方、様々な欠陥構造の形成によりグラフェン本来のキャリア移動度が大きく低減してしまう。我々はロックイン発熱解析に基づく新しい評価技術の開発を進めており、これまで大面積グラフェン膜の高速・高精度な構造イメージングを可能としてきた。本講演では、本手法に基づきCVDグラフェン膜の移動度低減に関する評価を行い、その低減機構について詳細に議論する。