[9p-W521-1~16] 17.2 Graphene

△ [9p-W521-7] Dry release transfer of graphene and h-BN by polypropylene carbonate for fabricating van der Waals heterostructures

〇Kei Kinoshita¹, Rai Moriya¹, Satoru Masubuchi¹, Kenji Watanabe², Takashi Taniguchi², Tomoki Machida^1,3 (1.IIS Univ.Tokyo, 2.NIMS, 3.CREST-JST)

Keywords:graphene, van der Waals heterostructure, transfer of 2D materials

現在グラフェン（Gr）/h-BNの多層構造作製においてStamping法が主流であるが、エッジコンタクトが必要となるため複雑な構造の作製が難しい。そこで、原子層を下から1層毎に積層でき、複雑な構造の作製に適用できるDry release転写法において高品質なデバイスを作製する手法を模索した。今回我々が開発したPolypropylene carbonate（PPC）を用いた手法は、PPCの熱可塑性を利用することにより、単層グラフェンや数層h -BNを簡便かつ清浄に別のh -BN上に転写することが可能である。本手法を用いてグラファイトのハーフボトムゲート付きの積層構造や金属電極上へのGrの転写を含む8回の転写を要する構造も実現できた。