[9p-W631-1~11] 3.7 Laser processing

△ [9p-W631-3] Laser Processing of Dielectrics by Extreme Ultraviolet Femtosecond Pulses

〇(PC)Tatsunori Shibuya¹, Kazuyuki Sakaue², Thanh-Hung Dinh³, Takashi Takahashi^1,2, Masahiko Ishino³, Takeshi Higashiguchi⁴, Masakazu Washio⁵, Masahito Tanaka¹, Hiroshi Ogawa¹, Masaharu Nishikino³, Yohei Kobayashi², Ryunosuke Kuroda¹ (1.AIST, 2.UTokyo, 3.QST, 4.Utsunomiya Univ., 5.Waseda Univ.)

Keywords:EUV, femtosecond laser processing, glass processing

極端紫外線領域における誘電体のフェムト秒レーザー加工特性を明らかにするため、X線自由電子レーザー施設SACLAの軟X線ビームラインBL1を利用して、シングルショット照射及び60Hzでのマルチショット照射実験を行い、アブレーション閾値及び加工モルフォロジーについて調査した。