[9p-W631-1~11] 3.7 Laser processing

△ [9p-W631-9] Correlation between the plume dynamics and deposition structure during double pulsed laser ablation

〇Keita Katayama¹, Wataru Nakamura¹, Hiroshi Fukuoka², Takehito Yoshida³, Tamao Aoki¹, Ikurou Umezu¹ (1.Konan Univ., 2.NIT.Nara College, 3.NIT.Anan College)

Keywords:laser ablation, nano particles, shock wave

我々は、複合ナノ結晶の構造制御を目指して２つのターゲットとレーザーを用いたダブルパルスレーザーアブレーションの研究を行っている。本報告では対向プルームが形成する衝撃波によってプルームの進展を制御することで、狭い空間中におけるプルームの混合もしくは分離する方法を報告する。また実際に基板に堆積した凝集構造を比較することで対向衝撃波による凝集メカニズムの影響も議論していく。