14:00 〜 14:15 △ [11p-Z03-5] 過渡電流解析によるシリコン酸化膜中のプラズマ誘起欠陥準位評価 〇濱野 誉1,2、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京都大学、2.学振特別研究員DC)