13:30 〜 13:45 [9p-Z25-3] グリセリンを添加したレジスト現像液のノボラック系ポジ型レジストの溶解性への影響 〇梶田 舜平1、宮路 由紀子1、堀邊 英夫2 (1.阪本薬品、2.大阪市大)