11:30 〜 11:45 △ [8a-Z02-10] N-PSS上スパッタ堆積アニールAlNテンプレートに成長させたAlN厚膜の微細構造解析 〇山本 望1、濱地 威明1、林 侑介1、藤平 哲也1、三宅 秀人2,3、酒井 朗1 (1.阪大院基礎工、2.三重大院工、3.三重大院地域イノベ)