15:45 〜 16:00 [9p-Z05-12] ヘリウムプラズマ誘起タングステン巨大ナノ構造形成とアニーリング効果 〇(M2)奥山 樹1、梶田 信2、吉田 直亮3、田中 宏彦1、大野 哲靖1 (1.名大院工、2.名大未来研、3.九大応力研)