[9p-Z05-1~14] 【CS.6】 Code-sharing Session of 6.5 & 7.6

[9p-Z05-12] Formation of Helium-Plasma-Induced Large-Scale Fiberform Tungsten Nanostructure and Annealing Effect

〇(M2)Tatsuki Okuyama¹, Shin Kajita², Naoaki Yoshida³, Hirohiko Tanaka¹, Noriyasu Ohno¹ (1.Grad. Sch. Eng., Nagoya Univ., 2.IMASS, Nagoya Univ., 3.RIAM, Kyushu Univ.)

Keywords:Helium-Plasma, Fuzz, Annealing

金属材料へのヘリウムプラズマ照射により、金属材料の表面に繊維状のナノ構造が形成することが確認されている。さらに、金属材料へのヘリウムプラズマと金属イオンの同時照射によって、ミリメートルサイズの巨大な繊維状ナノ構造が形成することが近年明らかになった。本研究では巨大繊維状ナノ構造の形成メカニズムを解明するために、アニーリング効果を調査する。