14:15 〜 14:30
〇加藤 公彦1,2、松井 裕章1、田畑 仁1、竹中 充1、高木 信一1 (1.東大院工、2.産総研)
加藤 公彦
発表者・著者、共著者
2020年9月11日(金) 12:45 〜 17:15 Z09
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.5 デバイス／配線／集積化技術
2020年9月11日(金) 12:45 〜 17:15 Z09
14:15 〜 14:30
〇加藤 公彦1,2、松井 裕章1、田畑 仁1、竹中 充1、高木 信一1 (1.東大院工、2.産総研)