16:00 〜 16:15 [11p-Z12-13] 「箱庭法」を用いた,pn接合部に対する金属元素のゲッタリング解析 〇神山 栄治1,2、永倉 大樹2、末岡 浩治2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン㈱、2.岡山県大情報工)