14:15 〜 14:30
〇平田 瑛子1,2、深沢 正永1、釘宮 克尚1、萩本 賢哉1、岩元 勇人1、Jomar Tercero2、礒部 倫郎2、伊藤 智子2、唐橋 一浩2、浜口 智志2 (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ(株)、2.阪大院工)
平田 瑛子
発表者・著者、共著者
2020年9月11日(金) 13:30 〜 16:15 Z03
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2020年9月11日(金) 13:30 〜 16:15 Z03
14:15 〜 14:30
〇平田 瑛子1,2、深沢 正永1、釘宮 克尚1、萩本 賢哉1、岩元 勇人1、Jomar Tercero2、礒部 倫郎2、伊藤 智子2、唐橋 一浩2、浜口 智志2 (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ(株)、2.阪大院工)