15:00 〜 15:15 [10p-Z10-9] Si-IGBT作製プロセスにおける水素熱処理の影響 〇(M1)門 龍翔1、横川 凌1,2、沼沢 陽一郎1,2、筒井 一生3、角嶋 邦之3、小椋 厚志1,2 (1.明治大理工、2.再生可能エネルギー研、3.東工大)