14:45 〜 15:00 [10p-Z04-8] 成膜後熱処理を施した原子層堆積Al2O3/GaNキャパシタの電気伝導特性 〇平岩 篤1,4、堀川 清貴2、大久保 智2、川原田 洋1,2,3 (1.早大ナノ・ライフ、2.早大理工、3.早大材研、4.名大未来研)