14:30 〜 14:45 [10p-Z09-8] 水蒸気との反応チャンバーを備えたMOS構造の電気特性測定装置の開発 〇有馬 健太1、和田 陽平1、三栗野 諒1、越智 諒1、川合 健太郎1、山村 和也1 (1.阪大院工)