16:15 〜 16:30 △ [10p-Z04-13] p-GaN MIS電気特性評価に向けたAlGaNバリア層の検討 〇(M2)和田 悠平1、溝端 秀聡1、野崎 幹人1、細井 卓治1、加地 徹2、志村 考功1、渡部 平司1 (1.阪大院工、2.名大IMaSS)