10:45 〜 11:00 [11a-Z02-7] グラフェンマスクを用いた化学ビームエピタキシーによるGaNの低角入射マイクロチャンネルエピタキシー 〇成塚 重弥1、竹中 駿1、丸山 隆浩1 (1.名城大理工)