15:30 〜 15:45 △ [11p-Z02-10] ナノパターンを有するスパッタ・アニール法AlNテンプレート上へのAlNのMOVPE成長 〇伊庭 由季乃1、正直 花奈子1、窪谷 茂幸2、上杉 謙次郎2、肖 世玉3、三宅 秀人3,1 (1.三重大院工、2.三重大地創戦略企、3.三重大院地域イノベ)