16:15 〜 16:30 [11p-Z02-13] 高温アニールAlN上AlGaN成長における超格子構造導入による歪み緩和 〇稲森 崇文1、石原 頌也1、白土 達也1、窪谷 茂幸2、正直 花奈子1、上杉 謙次郎2、三宅 秀人1,3 (1.三重大院工、2.三重大地創戦略企、3.三重大院地域イノベ)